微波熱處理與真空盤式干燥相結合，可以滿足對溫度敏感產品干燥時間更短，產品質量更高的要求，微波干燥與傳統干燥相比具有很大優勢，因為在微波干燥過程中，電磁能直接轉化為動能分子能量產生熱量；從而在要被干燥的材料內部深處產生熱量。
  
  特別是在微波真空盤式干燥中，這種優勢對于導熱性差的粘性和散裝產品具有重要意義。通過使用適當的過程控制，甚至可以管理具有爆炸保護的應用。
  
  在連續生產線內，連續工作的微波真空以及盤式干燥機的設備組可以在加工顆粒狀，粉末以及散裝材料和固體產品的工具載體上加入。
  
  為了找到微波生產真空工藝的^佳設置，微波真空系統可以配備不同的涂藥器和天線系統，通過使用紅外和光纖溫度測量系統，可以測量芯體和表面溫度，此外，還可以測量體重減輕，壓力和吸收的微波能量。